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プロセス容器

ドックワイラーのプロセス容器は、その高品質と精密さで知られています。材料の厳選から完璧な電解研磨仕上げに至るまで、当社のバブラーは、高純度媒体の取り扱いにおいて最大限の効率性、完全排出、簡便な洗浄、そして最大のプロセス信頼性を実現します。半導体およびファインケミカル産業における要求の厳しい製造工程に最適です。

Person in cleanroom clothing holds process vessel in cleanroom environment

有機金属化合物の安全な保管および輸送 ― ドックワイラーのバブラー

ドックワイラーのプロセス容器は、有機金属化合物の保管から廃棄まで、安全かつ効率的な取り扱いを保証します。長寿命な耐久性を持つ材質と最適化された形状により、最高水準で製造されています。 精密なオービタル溶接、電解研磨仕上げの表面、そして高品質材料の採用により、媒体の最適活用、完全排出、簡単な洗浄が可能です。 固体でも液体でも、ドックワイラーは最も厳しい要件に応えるカスタムソリューションをご提供します。

バブラーデザイン

1 インレットバルブ

2 アウトレットバルブ

3 クロスオーバー機能(オプション)

4 インスペクションポート

5 ディップチューブ(入口)

6 蒸気空間チューブ(サンプリングチューブ)
 

Bubbler Overview

概要

Bubbler
ドックワイラーのバブラー

高要求プロセスに対応するプロセス容器

お客様のプロセス要件に最適なソリューションを一緒に見つけましょう。
ドックワイラーのカスタマイズ容器システムについて、ぜひ専門スタッフにご相談ください。

メリット一覧

デッドスペースなし

 オービタル溶接技術により、ほぼデッドスペースがなく、堆積物を最小限に抑えて媒体の流れを改善します。

最大の使用率

 最適化された形状設計により、有機金属化合物の99%以上を活用可能。プロセス効率が最大化されます。

温度安定性

 -50°C ~ +100°C の温度に耐えられるため、広範囲のプロセスに対応可能です。

最適化されたディップチューブ設計

 業界との共同開発により、最大の飽和と流量を実現する最適ジオメトリを設計。

材料アウトガスなし

 媒体に接触するすべての部品は、1.4404 / 316L または特殊材料製。これにより、最大限の純度が確保されます。

Person wearing white cleanroom gloves doing final assembly work on a process vessel
Various process vessels in a row
Person wearing white cleanroom gloves performing a helium leak test on a process vessel

詳細情報

一歩進んだアドバイス

材料選定からプロセス適用まで、精密なアドバイスを提供します。

クリーンなプロセス

Dockweilerの洗浄技術により、残留物のない完全な表面品質を実現します。

清浄度の問題

最先端の技術と長年の経験により、クリーンルーム内で最もデリケートなアプリケーションのための超清浄システムを製造します。クリーンルームソリューションの詳細をご覧ください!