ドックワイラーは、半導体業界の技術パートナーとして、UHPチューブ、成形部品、ガスおよび真空用途向けの複雑なシステムを提供しています。私たちの目標は、プロセスに最適化された高品質部品を通じて効率性と安全性を確保すること。そのために、コンサルティングからクリーンルーム生産まで、包括的にサポートしています。
マイクロエレクトロニクス分野のスペシャリスト
半導体および電子部品製造業界の要件に完全に適合した高純度ソリューション。半導体工場の配管工事(Fit-upやHook-up)から、最先端のリソグラフィー技術まで、ドックワイラーは最適な供給システムをご提供します。

高純度媒体のための理想的な組み合わせ
品質への最大のこだわり
ドックワイラーは、半導体業界における先駆者として、1980年代初期のPC黎明期からこの分野に注力してきました。当社の部品はすべて、ISOクラス4、6、8の認定クリーンルームで製造され、Raavg. ≤ 0.25 µm(オプションで最大 0.13 µm)まで電解研磨された内面を有します。すべての製品は100%ヘリウムリークテスト済みで、PCWおよびCFOS用で 1×10⁻⁷ scc/sec、UHP製品では 1×10⁻⁹ scc/sec の漏れ基準をクリアしています。溶接記録、品質証明書、溶解番号と材質クラスによる完全なトレーサビリティは標準で提供しています。
マイクロエレクトロニクス向け製品
半導体業界向けのドックワイラー製ステンレスチューブおよび継手は、材質や内面仕上げの規格に応じて幅広く提供しています。内径3mm(1/8インチ)からNPS 20まで対応可能です。
UHPマニホールドシステム
より速く、より安全に、より清浄に:ドックワイラーのUHPディストリビューターは、個別設計・事前組立て・テスト済みで納品され、スムーズな設置と最大のプロセス信頼性を実現します。現場での手間を削減し、工場での制御を強化 ― これが「妥協なき品質」の形です。
詳しくは当社のパンフレットをご覧ください(今すぐダウンロード)


完璧な表面
最高純度の準備は整っていますか?
私たちのエキスパートが、用途に応じたソリューションを丁寧・迅速にご提案いたします。
今すぐお問い合わせください。



粒子測定および残留ガス分析(RGA)
ドックワイラーでは、クリーンルーム内で以下の2つの測定法を用いて、チューブシステムの粒子清浄度を評価しています:
- DPC(ディスクリート粒子カウント)
- CPC(凝縮粒子カウント)
また、洗浄後の水分・揮発性および非揮発性炭化水素の残留量を測定する残留ガス分(RGA)も実施しています。いずれの方法も、納品前にお客様の定義した清浄度レベルを証明するために活用されます。

私たちにとって安全性の確保は絶対的な優先事項です。高感度なプロセスガスには、ドックワイラーのultronチューブを迷わず選択しています。

お客様のメリット
高純度対応
半導体業界向け高純度表面開発のパイオニア
業界標準
ドックワイラーのfinetron、TCC、ultronは業界標準として広く採用されています
冶金の専門性
ステンレス表面の解析・最適化におけるスペシャリスト
詳細情報
柔軟性と純度を両立
Dockweiler Flextronの電解研磨済み波形ホースにより、最高レベルの純度と柔軟性を実現します。
お客様のニーズに合わせたディストリビューター
最高の効率を実現するカスタマイズされた分配システム: 当社のソリューションは、メディアを完璧に分配し、お客様のプロセスに完璧に適応します。ISOクラス4のクリーンルームで開発され、最高の清浄度とプロセスの信頼性を実現します。
完璧な表面処理
30年以上の経験により、電解研磨や酸洗処理で業界標準を確立しています。