Als Technologiepartner der Halbleiterindustrie liefert Dockweiler UHP-Rohre, Formteile und Systeme für Gas- und Vakuumanwendungen. Unser Ziel: Effizienz und Sicherheit durch hochwertige, auf den Prozess zugeschnittene Komponenten – von der Beratung bis zur Reinraumfertigung.
Ihr Spezialist für Microelectronics
Hochreine Lösungen – perfekt abgestimmt auf die Anforderungen der Industrie zur Herstellung von Halbleitern und mikroelektronischen Bauteilen. Ganz gleich, ob es um die Versorgung von Halbleiterfabriken (Fit-Up oder Hook-Up von FABs) geht oder um modernste Lithografie-Technologie, Dockweiler hat die passenden Leitungssysteme.
Die perfekte Kombination für hochreine Medien
Inhalt:
Maximale Anforderungen an Qualität
Dockweiler zählt in der Halbleiterindustrie zu den Wegbegleitern der ersten Stunde. Seit den frühen 1980er Jahren, mit dem Aufkommen der ersten PCs, haben wir uns auf Edelstahlrohre und Formteile für diese Branche spezialisiert. Unsere Komponenten werden in zertifizierten Produktionsumgebungen vorgefertigt, unter Reinraumbedingungen der ISO-Klassen 4, 6 und 8 gefertigt und verfügen über elektropolierte Innenoberflächen mit Rauheiten von bis zu Raavg ≤ 0,25 µm, optional sogar maximal 0,13 µm. Jeder Artikel wird zu 100 % mit Helium auf Dichtheit geprüft – mit Leckraten von 1 x 10⁻⁷ scc/sec bei PCW und CFOS sowie 1 x 10⁻⁹ scc/sec bei UHP-Produkten. Schweißprotokolle, Qualitätszertifikate und eine lückenlose Rückverfolgbarkeit über Schmelzennummer und Werkstoffklasse sind bei uns selbstverständlich.
Produkte für Microelectronics
Dockweiler Edelstahlrohre und -Formteile für die Halbleiterindustrie sind in verschiedenen Standards (Werkstoffen und Innenoberflächen) erhältlich. Die Rohrabmessungen reichen von einem Innendurchmesser von 3 Millimetern (1/8“) bis zu einem Durchmesser von NPS 20.
Microelectronics Special
UHP-Verteilersysteme
Schneller, sicherer, sauberer: Die UHP-Verteiler von Dockweiler werden individuell gefertigt, vormontiert und geprüft geliefert – für eine reibungslose Installation und maximale Prozesssicherheit. Weniger Aufwand vor Ort, mehr Kontrolle im Werk – so geht Qualität ohne Kompromisse.
Erfahren Sie mehr in unserer Broschüre – jetzt herunterladen!
Verteilersysteme
Hochreine Rohrleitungs- und Verteilersystemen leisten einen wichtigen Beitrag zur Produktionssicherheit.
Perfekte Oberflächen – weil jede Verunreinigung eine zu viel ist
Die Produktionsumgebung in der Halbleiterindustrie muss frei von jeglichen Verunreinigungen sein. Dockweiler bietet Oberflächen für höchste Reinheit gemäß der Kundenspezifikation an.
- ultron
- finetron
- TCC
- VSR80
loaderstate.init
Wir unterstützen Sie gerne!
Bereit für höchste Reinheit?
Unsere Experten beraten Sie gern – persönlich, kompetent und anwendungsnah.
Nehmen Sie jetzt Kontakt auf und finden Sie die passende Lösung für Ihr Projekt..
Services für Microelectronics
Partikelmessung und Restgasanalyse (RGA)
Die Partikelreinheit von Leitungssystemen wird bei Dockweiler im Reinraum mit Hilfe von zwei Messverfahren ermittelt: Die DPC (Discrete Particle Count) und CPC (Condensation Particle Count). Bei der Restgasanalyse geht es um den Restgehalt von Wasser sowie flüchtigen und nichtflüchtigen Kohlenwasserstoffen nach der Reinigung. Beide Methoden dokumentieren den vom Kunden definierten Reinheitsgrad vor der Auslieferung.
Wir sind absolut kompromisslos, was das Thema Sicherheit angeht! Gerade bei hochsensiblen Prozessgasen sind wir schnell beim Ultron-Rohr.
Paul MettenGeschäftsführer INTEGA Innovative Technologie für Gase und Anlagenbau GmbH
Kudennutzen
High Purity
Pionier bei der Entwicklung von hochreinen Oberflächen für die Halbleiterindustrie
Branchenstandard
Die Dockweiler-Oberflächenqualitäten finetron, TCC und ultron sind Branchenstandard
Metallurgie-Experte
Spezialist für Metallurgie und Optimierung von Edelstahloberflächen
Mehr Informationen
Flexibilität ohne Kompromisse
Maximale Flexibilität und höchste Reinheit – mit den elektropolierten Edelstahlwellenschläuchen von Dockweiler Flextron garantieren Sie kompromisslose Qualität für Ihre Prozesse. Ideal für Anwendungen in der Mikroelektronik und Feinchemie.
Verteiler nach Maß
Maßgeschneiderte Verteilersysteme für höchste Effizienz: Unsere Lösungen bieten die perfekte Verteilung von Medien und passen sich optimal an Ihre Prozesse an. Entwickelt in ISO-Klasse-4-Reinräumen für maximale Reinheit und Prozesssicherheit.
Präzision in Perfektion
Mit über 30 Jahren Erfahrung in der Oberflächenbearbeitung garantieren wir höchste Reinheit und Beständigkeit. Unsere Verfahren wie Elektropolieren und Beizen setzen neue Maßstäbe in der Branche.