Reinraumproduktion – eine Klasse für sich

UHP- und CFOS-Verteilersysteme von Dockweiler erfüllen sämtliche Anforderungen der Halbleiterindustrie. Die vorgefertigten Verteiler werden ausgehalst und anschließend im Reinraum verschweißt, getestet und verpackt.

Hochreine Verteilersysteme sind die maßgeschneiderte Lösung für die Halbleiterindustrie. Durch Orbitalschweißnähte sowie einer 100% Helium-Lecktest-Prüfung (Leckrate von 1 x 10⁻⁹ mbar l s⁻¹) bieten sie höchste Prozesssicherheit für Ihre Anlage.

Mit der DPC- und CPC-Messung überprüfen wir bei Dockweiler die Reinheit von Rohrsystemen. Dabei wird die Anzahl der Partikel in einem Gasstrom messen. Bei der DPC-Messung werden Partikel ab 0,1 µm sichtbar gemacht. Das CPC-Verfahren kann auch kleinere Partikel messen, indem es sie durch Kondensation vergrößert. So werden selbst Kleinstpartikel nachweisbar.

In einer eigenen Restgas-Analyse (RGA) Anlage messen wir die Konzentration von Wasser, flüchtigen und nichtflüchtigen Kohlenwasserstoffen (wie Alkohole, Lösemittel, Fette und Öle) auf Edelstahloberflächen nach der Reinigung. Die Anlage besteht aus drei Kammern: Eine Kammer dient zum Ausbacken der Bauteile als letzten Reinigungsschritt, während die beiden anderen für die eigentliche RGA-Messung genutzt werden. Die Anlage stellt höchste Produktqualität und Reinheit sicher.

Dockweiler bietet spezialisierte Fertigungslösungen für Anwendungen in verschiedenen Industrien, einschließlich der chemischen Industrie, der Luft- und Raumfahrttechnik, der Medizintechnik sowie für Forschungseinrichtungen. 

Ein gutes Beispiel ist die Herstellung von Prozessbehältern (Bubbler), die eine sichere Zuführung von Reinst-Medien in der Feinchemieindustrie gewährleisten. Diese Behälter spielen eine wichtige Rolle bei Verfahren wie der metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE), das für die Herstellung empfindlicher opto-elektronischer Bauteile entscheidend ist. Durch ihre präzise Fertigung im Reinraum und ihre hohe Dichtheit bieten sie maximale Prozesssicherheit und tragen zur Qualität und Effizienz der Produktion bei.