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您的微电子领域专家

高纯度解决方案——专为半导体及微电子元件制造行业的严苛需求量身定制。无论是半导体工厂的配套设施(FAB厂房的设备安装与连接),还是先进的光刻技术,Dockweiler都能提供匹配的供应系统。

Icon of a microchip on a blue-coloured wafer

高纯度介质的完美解决方案

作为半导体行业的技术合作伙伴,Dockweiler提供超高纯度(UHP)管道、模制件以及复杂的气体和真空应用系统。我们的目标:通过量身定制的高品质组件,从咨询到洁净室生产,实现高效与安全。

内容:

对品质的极致追求

Dockweiler自半导体行业兴起之初便是先驱者。从上世纪80年代个人电脑的崛起开始,我们便专注于为该行业提供不锈钢管道和管件。我们的组件在认证的生产环境中预制,制造过程符合ISO 4级、6级和8级洁净室标准,内表面经过电解抛光,粗糙度可达Raavg ≤ 0.25 µm,甚至可选最高0.13 µm。每件产品均经过100%氦气泄漏测试——PCW和CFOS产品的泄漏率为1 x 10⁻⁷ scc/sec,UHP产品的泄漏率低至1 x 10⁻⁹ scc/sec。焊接记录、质量证书以及通过炉号和钢种的完全可追溯性,是我们的标配。

微电子专用

UHP分配系统

更快、更安全、更洁净:Dockweiler的UHP分配系统为个性化定制,预组装并经过测试后交付——确保安装顺畅和最高的工艺可靠性。减少现场工作量,增强工厂控制力——品质绝不妥协。

了解更多详情,请下载我们的手册!

A person works in protective clothing in the clean room and stands next to a manifold with a welded valve .
Customized manifolds made of stainless steel with ball valves
高纯度管道和分配系统对保障生产可靠性至关重要。

完美表面——因为任何污染都是多余的

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我们乐意为您提供支持!

准备好迎接最高纯度了吗?

我们的专家团队将为您提供个性化、专业且贴合应用的解决方案。立即联系我们,为您的项目找到最佳方案。

racks in a semiconductor factory
person in cleanroom clothing holds a microchip in their hand
Cleanroom-packaged manifolds made of stainless steel with ball valves in Dockweiler foil sleeve
微电子服务

颗粒度测量与残余气体分析(RGA)

在Dockweiler,管道系统的颗粒度通过两种测量方法在洁净室中确定:DPC(离散颗粒计数)和CPC(冷凝颗粒计数)。残余气体分析用于测定清洁后水、挥发性及非挥发性碳氢化合物的残留含量。这两种方法均在交付前记录客户定义的清洁度等级。

Person in cleanroom clothing uses the control element of the RGA system in the cleanroom

安全是我们的绝对优先事项。对于高敏感工艺气体,我们毫不犹豫地选择Dockweiler的ultron管道。

Logo Exentec
Paul Metten总经理 | Exentec Germany GmbH

客户价值(产品优势)

高纯度

半导体行业高纯度表面处理的开拓者

行业标准

Dockweiler的表面处理品质Finetron、TCC和Ultron已成为行业标杆。.

冶金专家

不锈钢表面冶金与优化的专业团队

更多信息

灵活无妥协

Dockweiler Flextron电抛光不锈钢波纹管兼具极致柔韧性与超高纯度,为微电子和精细化工流程提供无懈可击的质量保障。

根據您的需求量身打造的配送系統

客製化分佈系統可達到最高效率:我們的解決方案可提供完美的介質分佈,並完全符合您的製程。在 ISO 4 級無塵室中開發,以達到最高的潔淨度和流程可靠性。

表面处理标杆

30年电抛光与酸洗经验,定义行业纯度与耐久性新标准。