我们为半导体行业对超高纯度（UHP）管系统的高要求提供定制解决方案，在我们的ISO Class 4洁净室中，符合ISO 14644-1和US FED STD 209E 10标准。在超过300平方米的洁净室区域内，我们保证从轨道焊接到包装的每一步都具备最高精度和纯净度。
通过这一方式，我们为您提供满足半导体制造最高要求的定制管系统，并确保完整的工艺可靠性。请信赖我们在洁净室中生产高纯度管系统的经验和专业知识！
洁净室生产——独树一帜的标准
半导体行业使用的产品必须在超洁净环境中制造，必须避免任何外来颗粒或残留物的污染。这种条件只能在洁净室中实现。超洁净产品如歧管或容器在此完成焊接、组装、测试和包装。
我们的标准：ISO Class 4 / US FED STD 209E 10
Dockweiler的UHP和CFOS歧管系统满足半导体行业的所有要求。预制的歧管经过拔孔处理，随后在洁净室内完成焊接、测试和包装。
高纯度歧管系统是为半导体行业量身定制的解决方案。通过轨道焊接和100%氦气泄漏测试（泄漏率为1 x 10⁻⁹ mbar l s⁻¹），它们为您的系统提供最高的工艺可靠性
在Dockweiler，我们使用DPC和CPC测量来检查管系统的清洁度。这一过程涉及测量气流中的颗粒数量。DPC测量可检测0.1微米以上的颗粒，而CPC方法通过冷凝放大技术还能测量更小的颗粒，从而确保连最微小的颗粒也能被检测到。
在我们自有的残余气体分析（RGA）系统中，我们测量不锈钢表面清洁后水、挥发性及非挥发性碳氢化合物（如醇类、溶剂、油脂和油）的浓度。该系统包含三个腔室：一个用于加热除气组件作为最终清洁步骤，另外两个用于实际的RGA测量。该系统确保最高的产品质量和纯净度。
Dockweiler为化工、航空航天、医疗技术和研究机构等行业提供专业制造解决方案。
一个典型的例子是工艺容器（鼓泡器）的生产，这些容器在精细化工行业中确保高纯度介质的安全供应。它们在金属有机气相外延（MOVPE）等工艺中扮演重要角色，而这些工艺对敏感光电器件的生产至关重要。这些容器在洁净室中精密制造，具备高密封性，提供最大的工艺可靠性，并提升生产的质量和效率。
我们每天的责任是确保产品的纯净度达到最高标准。每个人都深知这一点。
Martin Wegner公司洁净室技术专家 | Dockweiler
可靠性始于纯净
您是否准备好为生产环境实现最高洁净标准？
我们的ISO Class 4洁净室生产确保从轨道焊接组件到低颗粒包装的全程工艺可靠性。
客户价值（产品优势）
最高洁净等级
ISO Class 4生产环境确保极致洁净。
工艺可靠性
100%氦气泄漏测试保障系统无泄漏。
解决方案
针对特定需求的定制UHP系统。
品质
颗粒度测量与RGA确保产品最高纯净度。
专业能力
为半导体、制药、化工等行业提供洁净室生产服务。